微量元素地球化学，尤其稀土元素地球化学，近 20年来得到了迅猛发展和广泛应用，成为地球化学领域中的一个重要分支学科。微量元素地球化学的发展大致经历了三个阶段。60年代之前，主要是了解和查明微量元素在陨石、地球及其各层圈以及各类地质体中的分布、丰度及其规律，工作主要涉及上部地壳。60～70 年代，主要是利用微量元素作为一种示踪剂或指示剂，研究成岩成矿作用，如岩石类型划分，原岩恢复、成岩成矿的物质来源和物理化学条件等。
     70年代以后进入定量模式和理论发展阶段，主要利用微量元素的特殊的地球化学性质，利用热力学的有关理论，建立微量元素地球化学模型，对成岩和成矿的熔融和结晶作用过程进行定量理论计算，使微量元素地球化学有自己的特殊的研究方法和理论体系。微量元素地球化学的这一发展过程，客观上是和现代分析技术的发展相伴随的，早期主要是化学分析和光谱分析，随着X-荧光光谱、电感耦合等离子发射光谱、中子活化、电子探针、离子探针以及同位素质谱稀释法的发展和引入，使得大量的快速的精确的以及微区微粒的微量元素测定成为可能。当前，微量元素研究涉及地球化学的一切领域，大至地球和天体的形成和演化、小至矿物晶格中的元素分配。另外，微量元素和同位素的结合，互相取长补短，可以更准确全面的理解地质地球化学过程。可以说微量元素地球化学的发展之势正方兴未艾。